发明名称 PRODUCTION OF FERROELECTRIC OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04297571(A) 申请公布日期 1992.10.21
申请号 JP19910061741 申请日期 1991.03.26
申请人 MURATA MFG CO LTD;RES DEV CORP OF JAPAN;SHIMIZU TATSUO;MORIMOTO AKIJI 发明人 KITO HIDEO;OGAWA TOSHIO;SHIMIZU TATSUO;MORIMOTO AKIJI
分类号 C23C14/08;C23C14/28 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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