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发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04297022(A) 申请公布日期 1992.10.21
申请号 JP19910047914 申请日期 1991.03.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUME ICHIRO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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