发明名称 PREPARATION OF FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH04297048(A) 申请公布日期 1992.10.21
申请号 JP19910050675 申请日期 1991.02.22
申请人 CHISSO CORP 发明人 FURUKAWA HIDENORI;TOKUNAGA SHIGENORI;TAKAHASHI AKIO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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