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经营范围
发明名称
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04297030(A)
申请公布日期
1992.10.21
申请号
JP19910037667
申请日期
1991.03.05
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YUKI AKIMASA;KAWAHARA TAKAAKI;YAMAGUCHI TORU
分类号
H01L21/285;H01L21/31
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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