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发明名称 METHOD FOR CONTROL OF PHOTORESIST DEVELOP PROCESSES
摘要
申请公布号 EP0483349(A4) 申请公布日期 1992.10.21
申请号 EP19910911333 申请日期 1991.05.17
申请人 XINIX, INC. 发明人 THOMSON, MARISTE, A.
分类号 G03F7/30;H01L21/30;(IPC1-7):G03C5/00;G03D13/00;G03D5/00;G03D3/02 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
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