氩气纯化系统

摘要

一种氩气纯化系统包括一个室温分子筛吸附步骤，一个室温化学吸附步骤及一个低温吸附步骤，尤其适用于已纯化氩气的液化。

主权项

1、一种纯化氩气的方法包括： A提供一种氩气流，它含有氧气、氮气、水蒸汽、氢气、一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的一种或多种杂质； B、在室温下使氩气流通过装有分子筛吸附剂的床，以吸附其中的水蒸汽和/或二氧化碳； C、在室温下使氩气流通过装有催化物料的床，以化学吸附其中的氧气、氢气和/或一氧化碳； D、在低温下使氩气流通过装有吸附剂的床，以吸附其中的氮和/或碳氢化合物；和 E、回收已纯化的氩气流。