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发明名称
VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04297021(A)
申请公布日期
1992.10.21
申请号
JP19910015988
申请日期
1991.01.14
申请人
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
发明人
ISHIDA SADANORI
分类号
C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
主权项
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