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Es ist bekannt zur Erzeugung einer definierten Dicke bei einem Lichtwellenleiter-Taper eine Blende mit einer bestimmten ungleichförmigen Geschwindigkeit über das Substrat zu führen. Mit diesem Verfahren sind nur großflächige Taper und nur ein Taper je Substrat herstellbar. Es soll eine Möglichkeit angegeben werden, mit der auf einem Substrat mehrere Lichtwellenleiter-Taper hergestellt werden können. Dazu wird ein Substrat in einem Bearbeitungsvorgang durch Bestrahlen entweder geätzt, abgetragen oder beschichtet und die Strahlungsdichte oder Einwirkzeit pro Fläche wird zwischen zwei Enden jeder herzustellenden Struktur geändert. Dies kann z.B. mit einer Blende (2), die mit einer konstanten Geschwindigkeit über ein Substrat (6) geführt wird, und einer ortsfesten Maske (4), die über dem Substrat angebracht wird und Öffnungen (5) aufweist, an den Stellen, an denen Lichtwellenleiter-Taper entstehen sollen, geschehen. Die Blende (2) wird derart über oder unter der Maske (4) bewegt, daß entgegengesetzte Enden des durch die Öffnungen (5) sichtbaren Substrates (6) einem Bearbeitungsvorgang unterschiedlich lange ausgesetzt sind. Der Bearbeitungsvorgang kann beispielsweise ein Trockenätzvorgang, aber auch ein Vorgang zum Aufbringen oder Aufdampfen einer Schicht auf das Substrat (6) sein. Es entstehen geätzte keilförmige Vertiefungen (7) oder aufgedampfte keilförmige Strukturen (8) die durch einen anschließenden Ätzvorgang unter Einsatz der Maske (4) ebenfalls zu geätzten keilförmigen Vertiefungen (7) werden. <IMAGE>
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