发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING DIAMOND FILM AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04295092(A) 申请公布日期 1992.10.20
申请号 JP19910058827 申请日期 1991.03.22
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 YAMAMOTO MINORU;NAKAMURA SATOSHI;ITO NOBUE;HATTORI TADASHI
分类号 C30B25/02;C30B29/04 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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