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发明名称
METHOD OF PREVENTION OF HILLOCK ON AL WIRING
摘要
申请公布号
JPH04296042(A)
申请公布日期
1992.10.20
申请号
JP19910082870
申请日期
1991.03.25
申请人
NEW JAPAN RADIO CO LTD
发明人
KUROMARU YOSHIMITSU
分类号
H01L23/522;H01L21/768
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
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