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发明名称 METHOD OF DEPOSITING CONDUCTORS IN HIGH ASPECT RATIO APERTURES
摘要
申请公布号 CA2061119(A1) 申请公布日期 1992.10.20
申请号 CA19922061119 申请日期 1992.02.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LEE, PEI-ING P.;LICATA, THOMAS J.;MCDEVITT, THOMAS L.;PARRIES, PAUL C.;PENNINGTON, SCOTT L.;RYAN, JAMES G.;STRIPPE, DAVID C.
分类号 C23C14/46;C23C14/04;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H05K3/40;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
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