| 发明名称 |
CZ SILICON SINGLE CRYSTAL AS STOCK FOR IRRADIATION WITH NEUTRON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04295093(A) |
申请公布日期 |
1992.10.20 |
| 申请号 |
JP19910087441 |
申请日期 |
1991.03.26 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
TODA MASATO;TAKENAKA TAKUO;KITAGAWARA YUTAKA |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B31/20;H01L21/26;H01L21/261;H01L21/322 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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