发明名称 METODO DE DESPRENDIMIENTO FOTOLITOGRAFICO
摘要
申请公布号 MX165044(B) 申请公布日期 1992.10.20
申请号 MX19860001248 申请日期 1986.01.16
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 PAUL RICHARD WEST
分类号 G03C11/00;G03F7/26;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03C5/16;G03C11/24 主分类号 G03C11/00
代理机构 代理人
主权项
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