发明名称 FORMING METHOD OF MULTILAYERED SOFT MAGNETIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04293208(A) 申请公布日期 1992.10.16
申请号 JP19910058975 申请日期 1991.03.22
申请人 LIMES:KK 发明人 EBISAWA TAKASHI;YONEMOTO TAKAHARU;SANO KENICHI;TAKAHASHI JUNZO;FUJINAGA MASASHI;MIYAGAWA TSUGIO;MASHITA KEIJI
分类号 C23C14/14;H01F10/00;H01F10/32 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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