发明名称 MANUFACTURE OF SUBMICRON GATE ON SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04291933(A) 申请公布日期 1992.10.16
申请号 JP19910352815 申请日期 1991.12.16
申请人 THOMSON KONPOZAN MICROONDES 发明人 FURANSHISU DEBURII;JIYAAKU DEIAZU;BERONIIKU SHIYUUOBU;KURISUTOFU GARUNIE;ANNUUMARI GURISORE
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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