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申请公布号 JPH0465035(B2) 申请公布日期 1992.10.16
申请号 JP19850038595 申请日期 1985.02.27
申请人 MITSUBISHI KASEI HORITETSUKU KK;MITSUBISHI KASEI KK 发明人 IBUKA TOSHIHIKO;YOSHINO TOORU
分类号 C30B29/40;C30B15/00;C30B27/02;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
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