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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG MIT EINER SCHICHT AUS TITAN-WOLFRAM.
摘要
申请公布号 DE3874411(D1) 申请公布日期 1992.10.15
申请号 DE19883874411 申请日期 1988.05.11
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 VAN OEKEL, JACQUES JULES, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/308;C23F1/26;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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