发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04290436(A) 申请公布日期 1992.10.15
申请号 JP19910054832 申请日期 1991.03.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIO HIDETOSHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址
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