STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH MIT ESTERN DER 1,2-NAPHTHOCHINON-2-DIAZID-SULFONSAEURE UND EIN DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL,申请号DE19914111445-传众专利搜索

发明名称	STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH MIT ESTERN DER 1,2-NAPHTHOCHINON-2-DIAZID-SULFONSAEURE UND EIN DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL
摘要
申请公布号	DE4111445(A1)	申请公布日期	1992.10.15
申请号	DE19914111445	申请日期	1991.04.09
申请人	HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE	发明人	ZAHN, WOLFGANG, DR., 6228 ELTVILLE, DE;MERREM, HANS-JOACHIM, DR., BASKING RIDGE, N.J., US;ERDMANN, FRITZ, DR., 6228 ELTVILLE, DE;SCHMITT, AXEL, DR., 6229 WALLUF, DE
分类号	G03F7/00;G03F7/022;H01L21/027	主分类号	G03F7/00
代理机构		代理人
主权项
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