发明名称 PLASMAEINSCHLUSSSYSTEM.
摘要
申请公布号 DE3781587(D1) 申请公布日期 1992.10.15
申请号 DE19873781587 申请日期 1987.06.01
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKADA, OSAMI, CHOFU-SHI TOKYO, JP
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H05H1/12;(IPC1-7):H05H1/12 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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