| 发明名称 |
GAS DOPING OF SOLID BODY BY CRYSTALIZATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04291715(A) |
申请公布日期 |
1992.10.15 |
| 申请号 |
JP19910332226 |
申请日期 |
1991.12.16 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
HIROSHI KIMURA;RIKARUDO SHII PASUTOO |
| 分类号 |
C30B31/06;C30B11/04;C30B15/04;C30B33/00;G02F1/03;G02F1/09;H01L21/208;H01S3/16 |
主分类号 |
C30B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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