发明名称 PATTERN DEFECT INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04290952(A) 申请公布日期 1992.10.15
申请号 JP19910054903 申请日期 1991.03.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TERADA SHIGEKI;ONO AKIRA
分类号 G01B11/24;G01B11/245;G01N21/88;G01N21/956 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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