Apparatus for ellipsometric investigations of materials.

摘要

Sondenlicht, das in einer Ellipsometer-Apparatur von einem Prüfling reflektiert bzw. transmittiert wird, ist möglichst vollständig und mit hoher Präzision zu analysieren. Die Signalauswertung - vollständige Bestimmung des Stokes-Vektors - soll in Echtzeit erfolgen. Die Analysator-Einheit enthält in vier Stufen baugleiche Module (24), die jeweils mit einem optischen Element als Polarisator (25) und einem opto-elektrischen Detektor (18) ausgerüstet sind und als diskrete Elemente selektierte Komponenten des Sondenlichts unterschiedlicher Polarisation simultan erfassen. Von einer Stufe zur nächsten gelangt nach naturgesetzlichen Beziehungen hinsichtlich des Polarisationszustandes als auch des Polarisationsgrades beeinflußtes Restlicht. Die Apparatur dient z.B. zur Prozeßkontrolle und Optimierung der Herstellungsparameter für Halbleiter-Materialien. <IMAGE>