METHOD AND APPARATUS FOR PREPARING A SILICON OXIDE FILM,申请号GB19920018399-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR PREPARING A SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号	GB9218399(D0)	申请公布日期	1992.10.14
申请号	GB19920018399	申请日期	1992.08.28
申请人	FUJI ELECTRIC CO LTD	发明人
分类号	C23C16/50;C23C16/40;C23C16/511;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H05H1/16	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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