| 发明名称 |
MEASURING-POINT SELECTION APPARATUS FOR ELECTRON-BEAM TESTER USE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04290241(A) |
申请公布日期 |
1992.10.14 |
| 申请号 |
JP19910054259 |
申请日期 |
1991.03.19 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OKUBO KAZUO;TEGURI HIRONORI;ITO AKIO |
| 分类号 |
G01R31/302;H01J37/22;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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