SEMICONDUCTOR PROCESSOR DRAINING,申请号US19910653491-传众专利搜索

发明名称	SEMICONDUCTOR PROCESSOR DRAINING
摘要
申请公布号	US5154199(A)	申请公布日期	1992.10.13
申请号	US19910653491	申请日期	1991.02.08
申请人	SEMITOOL, INC.	发明人	THOMPSON, RAYMON F.;OWCZARZ, ALEKSANDER
分类号	H01L21/304;B08B3/02;G03F1/08;H01L21/00	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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