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发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING AN AL/TIN/TI CONTACT
摘要
申请公布号 US5155063(A) 申请公布日期 1992.10.13
申请号 US19910773420 申请日期 1991.10.09
申请人 NEC CORPORATION 发明人 ITO, NOBUKAZU
分类号 C23C14/06;C23C14/34;H01L21/768;H01L23/532 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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