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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04287907(A) 申请公布日期 1992.10.13
申请号 JP19910016559 申请日期 1991.02.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAMURA KATSUHIKO
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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