发明名称 LAYOUT TEST METHOD
摘要
申请公布号 JPH04288850(A) 申请公布日期 1992.10.13
申请号 JP19910052828 申请日期 1991.03.18
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 UECHI MASAHITO
分类号 H01L21/66;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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