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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH04288850(A)
申请公布日期
1992.10.13
申请号
JP19910052828
申请日期
1991.03.18
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
UECHI MASAHITO
分类号
H01L21/66;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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