发明名称 PHOTOPOLYMER MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH04288365(A) 申请公布日期 1992.10.13
申请号 JP19910078587 申请日期 1991.03.18
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 OKINOSHIMA HIROSHIGE;KATO HIDETO
分类号 C08F283/04;C08K5/21;C08L79/08;C09D179/08;G02F1/1337;G03F7/027;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/075;H01L21/312 主分类号 C08F283/04
代理机构 代理人
主权项
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