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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04288832(A) 申请公布日期 1992.10.13
申请号 JP19910078414 申请日期 1991.03.18
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 WATANABE RYOICHI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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