发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04286323(A) 申请公布日期 1992.10.12
申请号 JP19910075699 申请日期 1991.03.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ITO HITOSHI;SHIMA SHOHEI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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