| 发明名称 |
RESIN COMPOSITION FOR PHOTORESIST AND PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04287042(A) |
申请公布日期 |
1992.10.12 |
| 申请号 |
JP19910051764 |
申请日期 |
1991.03.16 |
| 申请人 |
NIPPON OIL & FATS CO LTD |
发明人 |
KAWAMOTO KEIJI;ISHIDOYA MASAHIRO;ENDO TAKESHI |
| 分类号 |
C08L33/14;C08L33/04;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027 |
主分类号 |
C08L33/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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