发明名称 MOVABLE DIAPHRAGM DEVICE FOR SCANNING-TYPE ELECTRON MICORSCOPE AND SIMILAR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04286843(A) 申请公布日期 1992.10.12
申请号 JP19910052132 申请日期 1991.03.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKURA AKIMITSU
分类号 H01J37/09 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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