| 发明名称 |
FORMATION OF ROTARY ELLIPTIC SURFACE MIRROR OF EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04287012(A) |
申请公布日期 |
1992.10.12 |
| 申请号 |
JP19910051840 |
申请日期 |
1991.03.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKANO MINORU;HOKI YOJI;YANAGIDA KIYOHISA;KOJIMA TAKEO;IKEYAMA TAKUZO |
| 分类号 |
G02B5/10;B41J2/44;G02B26/10;G03G15/04 |
主分类号 |
G02B5/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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