WAFER DISK FOR ION IMPLANTATION,申请号JP19910074396-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	WAFER DISK FOR ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号	JPH04286847(A)	申请公布日期	1992.10.12
申请号	JP19910074396	申请日期	1991.03.15
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	YUASA SATOSHI
分类号	C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
主权项
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