| 主权项 |
1.一种弹性表面波装置,系具备:一基板,系具备一 具有 表面之单结晶电介质,及一于前述电介质之前述表 面上叠 晶生长(epitaxial)之压电薄膜;沿前述电介质与前述 压 电薄膜之界面所成之电极手段;其中,前述电极手 段为, 包括取向于结晶方位上之一定方向的叠晶生长之 铝膜者。2.如申请专范围第1项所记载之弹性表面 波装置,其中, 前述单结晶电介质为,由选自矽,蓝宝石,钻石,及水 晶 所成之群中的任一种所成,而且,前述压电膜为,由 氧化 锌及氮化铝中之任一种所成者。3.如申请专利范 围第2项所记载之弹性表面波装置,其中 ,前述单结晶电介质为,由蓝宝石所成,前述压电薄 膜为 ,由氧化锌所成,前述铝膜为,(311)面指向膜者。4.如 申请专利范围第1项所记载之弹性表面波装置,其 中 ,并述铝膜为,包括由选自Cu,Ti,Ni,Mg及Pd所成之群 中的至少一种所成之添加物者。5.如申请专利范 围第4项所记载之弹性表面波装置,其中 ,前述添加物为,于前述铝膜中含有0.1重量%及至10 重 |
