发明名称 |
CANTILEVER UNIT AND ATOMIC FORCE MICROSCOPE, MAGNETIC FORCE MICROSCOPE, REPRODUCING APPARATUS AND INFORMATION PROCESSING APPARATUS USING THE CANTILEVER UNIT |
摘要 |
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申请公布号 |
CA2065593(A1) |
申请公布日期 |
1992.10.11 |
申请号 |
CA19922065593 |
申请日期 |
1992.04.08 |
申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KURODA, RYO;HATANAKA, KATSUNORI;MIYAZAKI, TOSHIHIKO;YAGI, TAKAYUKI;KAWASE, TOSHIMITSU;SHINJO, KATSUHIKO |
分类号 |
G01B21/30;G01B7/34;G01B9/02;G01N37/00;G01P15/08;G01Q20/02;G01Q60/08;G01Q60/24;G01Q60/40;G01Q60/50;G01Q60/56;G01Q70/14;G01Q80/00;G01R33/038;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01B5/20 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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