| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTOR THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04285002(A) |
申请公布日期 |
1992.10.09 |
| 申请号 |
JP19910048560 |
申请日期 |
1991.03.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NOSHIRO HIDEYUKI;OTANI NARIMOTO |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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