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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04285158(A) 申请公布日期 1992.10.09
申请号 JP19910047150 申请日期 1991.03.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HASHIDATE YOSHIO
分类号 C23C14/30;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
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