| 发明名称 |
DIFFUSION METHOD OF IMPURITIES TO SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04284624(A) |
申请公布日期 |
1992.10.09 |
| 申请号 |
JP19910072070 |
申请日期 |
1991.03.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HONMA HIDEO;YAGISHITA KENJI;MONMA NAOHIRO;TSUKUDA KIYOSHI |
| 分类号 |
C30B31/06;H01L21/22;H01L21/223 |
主分类号 |
C30B31/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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