发明名称 LIGHT EXCITING PROCESS EQUIPMENT WITH MECHANISM FOR REMOVIND WINDOW CLOUD
摘要
申请公布号 JPH04285173(A) 申请公布日期 1992.10.09
申请号 JP19910074229 申请日期 1991.03.15
申请人 CANON INC 发明人 SUZUKI NOBUMASA
分类号 C23C16/48;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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