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经营范围
发明名称
PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04285177(A)
申请公布日期
1992.10.09
申请号
JP19910049634
申请日期
1991.03.14
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP
发明人
HIRATA NORIYUKI;KITAKAMI SHOICHI
分类号
C23C16/50;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/54;H01L21/31;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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