发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04283927(A) 申请公布日期 1992.10.08
申请号 JP19910046343 申请日期 1991.03.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UOOCHI YASUO
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址