发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04283967(A) 申请公布日期 1992.10.08
申请号 JP19910047864 申请日期 1991.03.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 MINE TOSHIYUKI;HASHIMOTO KOJI;YOSHIZAWA MIKA
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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