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发明名称 DEVICE FOR IDENTIFYING DIFFERENT SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 EP0306676(B1) 申请公布日期 1992.10.07
申请号 EP19880111872 申请日期 1988.07.22
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HOERSCHELMANN, KONSTANTIN, DIPL.-PHYS;SCHARF, LUDWIG, DIPL.-PHYS;VOELKL, JOHANNES, DR. DIPL.-ING.;WEIDLICH, HERBERT, DR. DIPL.-PHYS.
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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