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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04282839(A) 申请公布日期 1992.10.07
申请号 JP19910045083 申请日期 1991.03.11
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AKIYAMA MASAHIKO;UCHIKOGA SHIYUUICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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