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发明名称 METHOD FOR THE CONTINUOUS AND CONTACTLESS MEASUREMENT OF FILM THICKNESS AS WELL AS AN ARRANGEMENT FOR THE REALIZATION OF THE METHOD
摘要
申请公布号 EP0185884(B2) 申请公布日期 1992.10.07
申请号 EP19850113564 申请日期 1985.10.25
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REUTER, KLAUS;LINGNAU, JUERGEN, DR.
分类号 G01B7/06;(IPC1-7):G01B7/06 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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