发明名称 DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04282849(A) 申请公布日期 1992.10.07
申请号 JP19910046256 申请日期 1991.03.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMANISHI HIROKAZU
分类号 H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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