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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04282829(A) 申请公布日期 1992.10.07
申请号 JP19910045278 申请日期 1991.03.12
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKAGAWA YASUHITO
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/66 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
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